MarSurf CP/CL select专为大范围、超快速表面三维轮廓扫描要求而设计，大大节省了时间成本，提高检测效率。
●点和线传感器
●测量速度快
●大面积扫描
●高度测量范围大
●可自动化定制

相关应用：对材料/产品/工件做表面非接触式三维形貌扫描，分析2D/3D表面形貌、轮廓几何尺寸（长度、宽度、深度、角度、面积、体积等）、表面粗糙度、平整度、翘曲、曲率、面形精度、摩擦磨损及腐蚀等参数指标。

技术规格

应用行业

应用项目

案例

1、晶圆面型三维表征及多方向剖面轮廓

2、音膜表面三维形貌和轮廓对比